下载纳米复合堆叠锌锑-锗碲相变存储薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:24253506

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本发明公开一种纳米复合堆叠锌锑‑锗碲相变存储薄膜及其制备方法,该存储薄膜的总厚度为40‑60 nm,结构通式为ZnSb(a)/GeTe(b),其中a和b分别表示ZnSb薄膜和GeTe薄膜的厚度,且1<a<49 nm,1<b...
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