下载一种单像元红外和可见光双波段传感器及阵列的技术资料

文档序号:24253438

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本发明公开了一种单像元红外和可见光双波段传感器,包括上层感光组件、桥柱、可见光感光组件和硅衬底;所述上层感光组件通过所述桥柱安装于所述硅衬底上方,且所述可见光感光组件设置于所述硅衬底的上表面;所述上层感光组件上设置有透光通孔,且所述可见光感...
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