下载形成图案部的方法的技术资料

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提供了一种形成图案部的方法,所述方法包括:在目标对象上形成第一膜,第一膜具有第一固化收缩率;在第一膜上形成第二膜,第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率;以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。...
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