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本发明公开了一种芯片镭射切割后的处理方法,是对晶圆进行镭射切割以及扩片处理,形成若干独立的芯片,然后将芯片浸泡于表面活性剂溶液中一段时间,将芯片移出表面活性剂溶液后浸入蚀刻液,通过蚀刻液蚀刻芯片边缘的烧融物,对蚀刻后的芯片进行清洗,清除表面...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种芯片镭射切割后的处理方法,是对晶圆进行镭射切割以及扩片处理,形成若干独立的芯片,然后将芯片浸泡于表面活性剂溶液中一段时间,将芯片移出表面活性剂溶液后浸入蚀刻液,通过蚀刻液蚀刻芯片边缘的烧融物,对蚀刻后的芯片进行清洗,清除表面...