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本发明涉及等离子体处理装置和环部件的形状测量方法。载置台具有用于依次载置多个治具的第一载置面和用于载置环部件的第二载置面。多个治具分别具有与环部件的上表面相对的相对部，该相对部在环部件的径向上的位置相互不同。获取部获取间隔信息，该间隔信息表...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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