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本发明公开了一种大束流离子注入机打火剂量补打方法，包括：PMAC板卡(1)ACC‑24E2A PMAC轴卡(2)打火检测板(3)直线运动控制组件(4)工控机(5)PMAC MACRO机箱(6)光栅尺(7)直线电机(8)驱动器(9)电源(10...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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