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本发明公开了一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法，其中，X为W、Mo、Nb、Ta中的一种或多种，所述高性能CrAlSiX合金靶材具有双层结构且由上层和底层复合而成，所述上层为CrAlSiX基体靶，所述CrAlSiX基体靶按原子百分比...该专利属于北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司授权不得商用。