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本发明公开了一种高纯硫酸的生产工艺，包括以下步骤：S1：发烟硫酸导入蒸发器中加热生成三氧化硫气体；S2：三氧化硫气体导入除雾器中与纯化塔中的冷却盘管换热除杂，得冷凝液相和气相三氧化硫，气相三氧化硫经过除雾，得纯化的三氧化硫气体；S3：循环吸...
该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。

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