温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种微机械结构元件(100)，其具有构造在第二和第三硅功能层(20、30)中的可运动的振动质量，其中，在所述第二和第三硅功能层(20、30)中构造有空心体(36)，所述空心体具有构造在第四硅功能层(40)中的覆盖元件。...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。