下载气帘辅助排气方法及其装置的技术资料

文档序号:2424411

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本发明公开了一种气帘辅助排气方法及其装置,在工作台设置气帘产生器以包围其部分面积,且工作台上方设置有接收型气罩,此接收型气罩外沿的垂直下方可完全涵盖前述的面积,接着激活气帘产生器吹出气帘至接收型气罩开口处,并激活接收型气罩吸引气流。接收型气...
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