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本实用新型涉及碳化硅晶体生产技术领域，且公开了一种全自动智能碳化硅晶体生长装置，包括保温炉。该全自动智能碳化硅晶体生长装置，通过保温炉和保温盖采用碳纤维制作，碳纤维的高耐温性和保温性极大的提升了其保温性能，并且通过保温盖底部的填充块与保温炉...
该专利属于江苏卓远半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏卓远半导体有限公司授权不得商用。

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