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一种复合硬质薄膜制造技术
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下载一种复合硬质薄膜的技术资料
文档序号:24230934
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本实用新型公开了一种复合硬质薄膜,其特征在于:Ti层;TiN层,设于所述Ti层之上;耐磨层,设于所述TiN层之上,其中所述耐磨层包括周期性设置的复合结构,其中该复合结构包括至少一组依次层叠的CrTiZrN/CrZrC层与CrTiC/CrSi...
该专利属于苏州涂冠镀膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州涂冠镀膜科技有限公司授权不得商用。
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