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本实用新型公开了一种用于磁控溅射系统的平面阴极，包括从下到上依次设置的底板、中板、液冷板和铜背板；所述铜背板的上表面覆盖有匀磁板，所述的匀磁板由碳钢区域与不锈钢区域拼接而成；所述的碳钢区域包括呈跑道状的环形部分与位于环形部分上下两侧的条形部...
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