温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种晶圆共用背检平台。所述晶圆共用背检平台底座；显微镜，所述显微镜设置于所述底座的上方；共用圆盘，所述共用圆盘设置于所述底座的上方，所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽，并且共用圆盘的顶部设置有防护板，所述共用圆盘、所述辅助槽和所述...
该专利属于合肥新汇成微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥新汇成微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。