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本申请提供一种载片检测装置，该载片检测装置包括第一限位件以及第二限位件。其中，第一限位件包括第一光滑表面；第二限位件包括第二光滑表面。第一限位件与第二限位件连接，在第一光滑表面与第二光滑表面之间形成预设间距的通道，且该通道允许厚度在预设范围...
该专利属于嘉盛半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉盛半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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