下载3D存储器件的失效定位方法的技术资料

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公开了一种3D存储器件的失效定位方法,所述3D存储器件包括存储单元阵列,所述存储单元阵列中沿一方向排布的存储单元电连接至一条位线,所述3D存储器件存在双位线失效,所述失效定位方法包括:使用聚焦离子束机台,在双位线失效的两条位线上沉积金属垫体...
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