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本发明提供一种负型光阻混合物及光阻图案形成方法,负型光阻混合物包括香豆素衍生线性聚合物,光阻图案形成方法包括整层涂布负型光阻混合物形成一负型光阻层,使用掩模构件对负型光阻层的遮光部分进行遮光,对负型光阻层未被掩模构件遮住的部分进行曝光,形成...该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种负型光阻混合物及光阻图案形成方法,负型光阻混合物包括香豆素衍生线性聚合物,光阻图案形成方法包括整层涂布负型光阻混合物形成一负型光阻层,使用掩模构件对负型光阻层的遮光部分进行遮光,对负型光阻层未被掩模构件遮住的部分进行曝光,形成...