下载用于检查玻璃基板的装置的技术资料

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公开了用于检查玻璃基板的装置。用于检查玻璃基板的装置包括平台、第一光源、第一相机、第二光源、第二相机以及缺陷检测单元,其中:平台配置为支撑玻璃基板;第一光源用于以第一角度将光照射到玻璃基板的表面上;第一相机用于捕获从第一光源照射的光的散射光...
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