用于检查玻璃基板的装置制造方法及图纸

公开了用于检查玻璃基板的装置。用于检查玻璃基板的装置包括平台、第一光源、第一相机、第二光源、第二相机以及缺陷检测单元，其中：平台配置为支撑玻璃基板；第一光源用于以第一角度将光照射到玻璃基板的表面上；第一相机用于捕获从第一光源照射的光的散射光；第二光源用于以大于第一角度的第二角度将光照射到玻璃基板的表面上；第二相机用于捕获从第二光源照射的光的反射光和散射光；缺陷检测单元用于使用由第一相机提供的第一图像和由第二相机提供的第二图像检测玻璃基板的缺陷。

Device for checking glass substrate

【技术实现步骤摘要】
用于检查玻璃基板的装置相关申请的交叉引用本申请要求于2018年11月12日提交的第10-2018-0138320号韩国专利申请的优先权及权益，该韩国专利申请的全部内容在此通过引用并入本文中。
本公开的示例性实施方式大体上涉及用于检查玻璃基板的装置和方法，并且更具体地，涉及可以使用玻璃基板的数字图像来检测玻璃基板的缺陷的用于检查玻璃基板的装置和方法。
技术介绍
通常，用于制造诸如液晶显示器(LCD)、有机发光显示器(OLED)等的平板显示设备的玻璃基板非常薄并且可由于轻微的碰撞或温度变化而轻易损坏。例如，当玻璃基板具有微小缺陷(诸如微空隙和微裂纹)时，在处理或制造显示设备时玻璃基板可轻易损坏。另外，当杂质通过微小缺陷渗透到玻璃基板中时，可能由于污染而导致不良产品或质量劣化。在本部分中公开的上述信息仅用于理解本专利技术构思的背景，并且因此可包含不构成现有技术的信息。
技术实现思路
一个或多个示例性实施方式提供了可以通过数字图像处理技术来检测玻璃基板的缺陷的用于检查玻璃基板的装置和方法。一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于检查玻璃基板的装置，所述装置包括：/n平台，配置为支撑所述玻璃基板；/n第一光源，用于以第一角度将光照射到所述玻璃基板的表面上；/n第一相机，用于捕获从所述第一光源照射的所述光的散射光；/n第二光源，用于以大于所述第一角度的第二角度将光照射到所述玻璃基板的所述表面上；/n第二相机，用于捕获从所述第二光源照射的所述光的反射光和散射光；以及/n缺陷检测单元，用于使用由所述第一相机提供的第一图像和由所述第二相机提供的第二图像检测所述玻璃基板的缺陷。/n

【技术特征摘要】
20181112 KR 10-2018-01383201.用于检查玻璃基板的装置，所述装置包括：
平台，配置为支撑所述玻璃基板；
第一光源，用于以第一角度将光照射到所述玻璃基板的表面上；
第一相机，用于捕获从所述第一光源照射的所述光的散射光；
第二光源，用于以大于所述第一角度的第二角度将光照射到所述玻璃基板的所述表面上；
第二相机，用于捕获从所述第二光源照射的所述光的反射光和散射光；以及
缺陷检测单元，用于使用由所述第一相机提供的第一图像和由所述第二相机提供的第二图像检测所述玻璃基板的缺陷。


2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述平台包括用于在一个方向上移动所述玻璃基板的驱动单元。


3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一相机和所述第二相机布置在垂直于所述平台的方向上。


4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一相机和所述第二相机中的每一个是线扫描相机。


5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一相机和所述第二相机中的每一个包括CMOS和CCD中的一种。


6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李镇镐，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR