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本发明提供一种压力传感器及制备方法，该压力传感器包括自下而上叠至的硅衬底、粘结层、检测电路及硅膜结构，其中，该粘结层中设置空腔，检测电路设置于该硅膜结构朝向该硅衬底的一侧。本发明提供的压力传感器能够克服检测电路暴露环境中造成传感器的稳定性降...
该专利属于苏州纳芯微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳芯微电子股份有限公司授权不得商用。

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