下载铌酸钾钠纳米棒阵列的图形化生长的操作方法及其自供电压力分布式传感器件的制作方法的技术资料

文档序号:24201910

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本发明公开一种铌酸钾钠纳米棒阵列的图形化生长的操作方法及其自供电压力分布式传感器件的制作方法,所述传感器的制作包括:金属阻挡层的制备;铌酸钾钠纳米棒阵列的图形化生长;上电极的制备等步骤。将钛酸锶衬底经过清洗烘干后,在其上采用光刻溅射法制作出...
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