下载银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法的技术资料

文档序号:24197163

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本发明提供银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法,上述银薄膜蚀刻液组合物,其包含:(A)硝酸;(B‑1)烷基磺酸;(B‑2)烷基磺酸以外的有机酸;(C)金属、金属盐和硫酸中的一种以上;(D)硫酸盐;和(E)水。本发明提供显著改善残...
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