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气相生长装置制造方法及图纸
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文档序号:24197114
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气相生长装置具备:n个反应室,n为2以上的整数;主气体供给通路,对n个反应室供给第一气体与第二气体的混合气体;n条副气体供给通路,从主气体供给通路分支,与反应室分别连接,包括1条第一副气体供给通路和(n-1)条第二副气体供给通路;第一压力计...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。
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