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公开了一种研磨微粒及其制造方法，方法包括形成研磨微粒的核心；将所述核心分散在有机溶剂中，加热到第一温度；加入阳离子表面活性剂，在第一温度下回流第一时长；加入磨料源，形成反应混合液，以第二温度反应第二时长，其中，所述磨料源用于形成对目标材料具...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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