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本发明公开了一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统，包括基座、宏动平台、微动平台和光栅尺位移传感器；宏动平台采用电磁直线电机，定子固定在基座上，动子用于承载微动平台；光栅尺位移传感器的光栅读数头设置在宏动平台的动子上、标尺光栅沿宏动...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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