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本发明公开了一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆、抛光系统、液压缸、机体，机体顶端面设有两个抛光系统，抛光系统正上方设有液压缸，液压缸和抛光系统机械连接，机体最顶端设有固定杆，抛光系统包含进风口、主杆、折叠筒、固定盘、操作平台，操作...
该专利属于徐绪友所有，仅供学习研究参考，未经过徐绪友授权不得商用。

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