下载半导体结构的技术资料

文档序号:24181403

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本实用新型提供了一种半导体结构,包括:半导体衬底;沟槽,形成于半导体衬底内;掺杂介质层,形成于沟槽的底部及侧壁;第一介质层,形成于沟槽内,第一介质层的上表面低于半导体衬底的上表面;衬底延伸层,形成于沟槽未被第一介质层覆盖的侧壁上,并延伸覆盖...
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