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本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械压力传感器设备配备有：第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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