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耐电浆涂层的气胶沉积涂布法制造技术
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下载耐电浆涂层的气胶沉积涂布法的技术资料
文档序号:24178574
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本发明是与耐电浆涂层的气胶沉积涂布法相关,更为具体的是在电浆蚀刻时,让装备内部在电浆环境中受到保护,使得金属母材涂布层的粗糙度降低,减少微粒的发生,且提高涂布层与金属母材的结合力。与此有关的耐电浆涂层的气胶沉积涂布法。...
该专利属于KOMICO有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过KOMICO有限公司授权不得商用。
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