下载耐电浆涂层的气胶沉积涂布法的技术资料

文档序号:24178574

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本发明是与耐电浆涂层的气胶沉积涂布法相关,更为具体的是在电浆蚀刻时,让装备内部在电浆环境中受到保护,使得金属母材涂布层的粗糙度降低,减少微粒的发生,且提高涂布层与金属母材的结合力。与此有关的耐电浆涂层的气胶沉积涂布法。...
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