温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种提升垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺均匀性的方法，将垂直腔面发射激光器放置加热炉中，启动加热炉加热至反应温度，然后将水蒸汽以恒定流量由载气带入加热炉，水蒸汽和垂直腔面发射激光器的外延片中暴露的高铝组分化合物发生反应，形成氧化物...
该专利属于深亮智能技术(中山)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深亮智能技术(中山)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。