下载底部发射垂直腔面发射激光器的技术资料

文档序号:24175059

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本申请公开了一种底部发射垂直腔面发射激光器,至少一个发光单元,所述发光单元包括层叠设置的衬底、第一反射器层、有源层、氧化层、第二反射器层及顶部电极,所述氧化层具有限定激光出射窗口的非氧化区,所述衬底上形成有用于改变所述激光出射窗口所出射激光...
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