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本发明涉及一种薄膜封装结构及其制备方法和显示面板，其中该制备方法包括以下步骤：在待封装器件上依次形成第一无机封装层和有机封装层，然后在有机封装层先采用原子层沉积法形成第一无机薄膜，再在所述第一无机薄膜上采用气相沉积法形成第二无机薄膜，以得到...
该专利属于广东聚华印刷显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东聚华印刷显示技术有限公司授权不得商用。

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