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三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备技术
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文档序号:24174320
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本申请公开了一种三维存储器、三维存储器的制备方法及电子设备。三维存储器包括依次层叠设置的衬底形成在衬底上的第一堆叠层;形成在第一堆叠层上的存储堆叠层,形成在存储堆叠层中的存储结构,存储结构至少部分地贯通存储堆叠层;在存储结构朝向衬底的一侧形...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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