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本发明属于晶圆清洗技术领域，特别涉及一种基板双面处理高效传递系统，包括片盒单元、基板传递机器人A、中间单元、第一清洗单元、基板传递机器人B及第二清洗单元，其中片盒单元用于存储晶圆；基板传递机器人A用于在片盒单元和中间单元之间进行晶圆传输；中...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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