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一种电镀缸腔体结构制造技术
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下载一种电镀缸腔体结构的技术资料
文档序号:24169305
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本实用新型公开了一种电镀缸腔体结构,包括:腔体外壁,用于形成整个腔体的外部轮廓;一个或多个冷却面板管及框架,所述冷却面板管及框架作为腔体隔离结构将腔体隔离为多个独立的部分,所述冷却面板管及框架的表面上设置有热交换器。...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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