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一种高速光学延迟线芯片、装置制造方法及图纸
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下载一种高速光学延迟线芯片、装置的技术资料
文档序号:24166490
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本发明公开了一种高速光学延迟线芯片及装置,高速光学延迟线芯片包括:通道选择模块、探测器模块、环形波导模块及闭环反射波导模块;通道选择模块包括N级热光开关,其中:第一级至第N‑1级热光开关为MZ‑MMI热光开关,第N级热光开关为1×2MMI热...
该专利属于杭州洛微科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州洛微科技有限公司授权不得商用。
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