一种高速光学延迟线芯片、装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高速光学延迟线芯片及装置，高速光学延迟线芯片包括：通道选择模块、探测器模块、环形波导模块及闭环反射波导模块；通道选择模块包括N级热光开关，其中：第一级至第N‑1级热光开关为MZ‑MMI热光开关，第N级热光开关为1×2MMI热光开关；高速光学延迟线装置包括：如上所述的高速光学延迟线芯片、外壳、光纤、光纤插座、透镜、衬底及供电模块，其中：光纤插座设置于外壳外侧，光纤与所述光纤插座连接，所述透镜设置于所述光纤插座与外壳之间，衬底设置于外壳内部，所述高速光学延迟线芯片设置于所述衬底上，与设置于外壳内部的供电模块连接。本发明专利技术具有实现小型化、重量轻、扫描速度快的优点。

A high speed optical delay line chip and device

【技术实现步骤摘要】
一种高速光学延迟线芯片、装置
本专利技术涉及光学延迟线领域，尤其涉及一种高速光学延迟线芯片及装置。
技术介绍
光学延迟线是一种改变光程或者相位的光学装置，在利用光干涉原理工作的设备或者测量仪器中都需要使用光学延迟线来改变光程或相位，以使得发生干涉的二臂光程符合光干涉的原理。近年来出现的光学干涉技术大多会用到宽带干涉原理，大致分为2类，一类是部分相干干涉技术(PCI)，另一类是采用弱相干反射测量技术(LCR)。例如，《用于测量眼内距离的衍射光学元件的干涉布置》，公开号为US5673096A，公开日为1997年9月30日，该技术方案公开了一种光学延迟线装置，通过移动直角棱镜实现光程的变化，当直角棱镜移动过程中，光经过棱镜直角反射后光程会发生改变，当通过棱镜一路的光程差等于通过被测物的光程差相等时会发生干涉现象，然后通过直角透镜的移动距离测试出被测物体的深度。专利公开号为US20090268209A的技术方案公开了一种光学延迟线装置，通过旋转4方棱镜扫描，扫描范围40mm，可以通过增加棱镜的边长获取更大的扫描范围。这类技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高速光学延迟线芯片，其特征在于，包括：/n通道选择模块、探测器模块、环形波导模块及闭环反射波导模块；/n通道选择模块包括N级热光开关，其中：第一级至第N-1级热光开关为MZ-MMI热光开关，第N级热光开关为1×2MMI热光开关；第一级热光开关的输入端为耦合到芯片平面波导的外接光纤激光器光源，第一级热光开关的第一输出端连接探测器模块，第一级热光开关的第二输出端连接第二级热光开关的输入端，第二级至第N-1级热光开关的第一输出端均经过环形波导模块与下一级热光开关的输入端连接，第二级至第N-1级热光开关的第二输出端均直接与下一级热光开关的输入端连接，第N级热光开关的第一输出端经过环形波导模块与...

【技术特征摘要】
1.一种高速光学延迟线芯片，其特征在于，包括：
通道选择模块、探测器模块、环形波导模块及闭环反射波导模块；
通道选择模块包括N级热光开关，其中：第一级至第N-1级热光开关为MZ-MMI热光开关，第N级热光开关为1×2MMI热光开关；第一级热光开关的输入端为耦合到芯片平面波导的外接光纤激光器光源，第一级热光开关的第一输出端连接探测器模块，第一级热光开关的第二输出端连接第二级热光开关的输入端，第二级至第N-1级热光开关的第一输出端均经过环形波导模块与下一级热光开关的输入端连接，第二级至第N-1级热光开关的第二输出端均直接与下一级热光开关的输入端连接，第N级热光开关的第一输出端经过环形波导模块与闭环反射波导模块连接，第N级热光开关的第二输出端直接与闭环反射波导模块连接。


2.根据权利要求1所述的一种高速光学延迟线芯片，其特征在于，
所述MZ-MMI热光开关均包括：第一干涉臂、第二干涉臂及2×2MMI耦合器；其中：第一干涉臂及第二干涉臂上均设有金属加热层，金属加热层外侧设有外部电极，所述第一干涉臂与外部电极连接。


3.根据权利要求1所述的一种高速光学延迟线芯片，其特征在于，
所述第一级热光开关包括1个MZ-MMI热光开关，所述第N级热光开关包括2^(n-2)个MZ-MMI热光开关/1×2MMI热光开关，其中：N为正整数，N大于等于3。


4.根据权利要求1所述的一种高速光学延迟线芯片，其特征在于，
所述MZ-MMI热光开关、1×2MMI热光开关、环形波导模块及闭环反射波导模块均为单模波导结构。


5.根据权利要求1所述的一种高速光学延迟线芯片，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙笑晨，冯宁宁，刘飞，
申请(专利权)人：杭州洛微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33