下载一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法的技术资料

文档序号:24166486

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本发明公开了一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法,这种方法包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作条形离子掺杂区(4);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。将表面制作有...
该专利属于浙江大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学深圳研究院授权不得商用。

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