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一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法技术
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文档序号:24166486
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本发明公开了一种离子交换玻璃基表面波导模斑转换器的制作方法,这种方法包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作条形离子掺杂区(4);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。将表面制作有...
该专利属于浙江大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学深圳研究院授权不得商用。
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