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本发明涉及一种薄膜热导率的测量装置及测量方法，采用硅基板作为测量装置的基座，多个薄膜微桥平行架设于刻蚀槽上以组成测量微结构装置，以复现微型电子器件的实际工作过程，以此测量得到微型电子器件工作过程中薄膜材料的热导率。本发明的薄膜热导率的测量装...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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