温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光学检测系统以及光学检测方法，光学检测系统包括：入射组件，能够提供入射光线；光线调制装置，设置在入射光线的传输光路上，光线调制装置包括呈阵列分布的多个微反射镜，各微反射镜能够反射入射光线使得入射光线照射到待测基板的表面。且光...
该专利属于合肥维信诺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥维信诺科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。