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本发明公开了一种光子晶体微腔与光波导侧向耦合的阵列传感结构，所述阵列传感结构基于空气孔呈三角晶格的二维光子晶体结构进行设计的，所述二维光子晶体结构为圆形空气柱在硅板上呈三角形晶格进行周期排列而形成的二维光子晶体硅平板结构，通过移除中间一行的...
该专利属于燕山大学所有，仅供学习研究参考，未经过燕山大学授权不得商用。

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