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一种MCS压力传感器及其制备方法技术
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文档序号:24164679
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本发明实施例提供了一种MCS压力传感器及其制备方法,在本发明实施例中,粘接胶层均匀涂覆,并且在工序中增加了依据一定的温度、一定的时间、一定的压力、一定的真空度按压工序,进一步避免了上述粘接胶层不均匀一致时所产生的性能下降问题;把金属箔片刻蚀...
该专利属于西安中星测控有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中星测控有限公司授权不得商用。
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