下载一种MCS压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:24164679

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本发明实施例提供了一种MCS压力传感器及其制备方法,在本发明实施例中,粘接胶层均匀涂覆,并且在工序中增加了依据一定的温度、一定的时间、一定的压力、一定的真空度按压工序,进一步避免了上述粘接胶层不均匀一致时所产生的性能下降问题;把金属箔片刻蚀...
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