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本发明公开了一种基于微加工工艺的无源柔性温度传感器的制作方法，包括以下步骤：设置柔性线圈和微型电极，温度敏感材料对准转移，IC芯片对准粘接，封装。本发明中的方法成本低，在常温常压下就可进行，对环境要求低，工业上可以建立这一流水线作业模式来加...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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