温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种MEMS陀螺仪，涉及一种陀螺仪；包括谐振子和多个外部电极，所示外部电极呈圆周阵列分布在谐振子外围，所述谐振子为轴心对称的圆盘形网状结构，所述谐振子包括位于谐振子中心的锚点结构和螺旋线结构，所述螺旋线结构与锚点结构固定连接，所述...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。