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一种高导通低漏电的肖特基芯片制造技术
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文档序号:24146848
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一种高导通低漏电的肖特基芯片,属于半导体技术领域。包括衬底,在衬底表面设置有外延层,在外延层中部形成肖特基界面(4),其特征在于:所述的外延层包括第一外延层和第二外延层,在肖特基界面(4)下部的第二外延层内间隔设置有多个第二单晶硅区(5),...
该专利属于淄博汉林半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过淄博汉林半导体有限公司授权不得商用。
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