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本实用新型公开了一种脱落报警机构与真空蚀刻机喷淋装置，将固定件安装在连接部件上；再将触发件与固定件传动配合，使得触发件跟随固定件移动而移动，如此，当连接部件发生脱落时，连接部件会通过固定件带动触发件移动。由于触发件移动能够触发开关组件处于闭...该专利属于广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司授权不得商用。