下载一种可用于XPS检测系统和原位反应系统的样品托的技术资料

文档序号:24144246

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本实用新型提供了一种可用于XPS检测系统和原位反应系统的样品托,用于解决现有技术中在XPS检测系统和原位反应系统之间的样品接口不一,需要在XPS检测系统和原位反应系统之间人工传递样品操作复杂、容易污染样品的技术问题,包括:XPS检测系统样品...
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