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本实用新型提供了一种用于晶圆平面度测量的气动量仪，包括气源输出装置、气电测微仪和测量装置，所述气源输出装置包括机械稳压器、水柱式稳压器以及测量气室，所述水柱式稳压器包括稳压水箱以及竖直设置在稳压水箱内的第一储气管、第二储气管，所述第一储气管...
该专利属于三门峡中原量仪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三门峡中原量仪股份有限公司授权不得商用。

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