下载厚度检测装置的技术资料

文档序号:24143114

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本申请提供了一种厚度检测装置。该装置包括:公共单元,公共单元为导电体;检测单元,与公共单元在第一方向上间隔设置,检测单元包括至少一个检测芯片,且检测芯片包括多个检测电极,公共单元在第一平面上的投影覆盖检测芯片在第一平面上的投影,第一平面与第...
该专利属于威海华菱光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威海华菱光电股份有限公司授权不得商用。

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