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本实用新型提供了一种用于碳化硅外延生长的石墨基座，包括基座本体以及嵌块，基座本体顶部设有开口朝上、用于容纳碳化硅衬底并供其进行外延生长的片槽，片槽的侧壁上开设有连通片槽与基座本体外部空间的凹槽；片槽的侧壁用于与碳化硅衬底侧壁的弧形部相接，嵌...
该专利属于河北普兴电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北普兴电子科技股份有限公司授权不得商用。

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